Материаловедение в микроэлектронике

Сохранено в:
Шифр документа: АР441497, АУ556531, М10829,
Вид документа: Книги
Автор: Палатних, Л. С.
Опубликовано: М. : Энергия , 1978
Физические характеристики: 279 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Электрон. материаловедение
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr17514720000
005 20070424174742.0
010 # # $b В пер.  $d 1 р. 10 к. 
021 # # $a RU  $b [78-9385] 
100 # # $a 20070424d1978 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Материаловедение в микроэлектронике 
210 # # $a М.  $c Энергия  $d 1978 
215 # # $a 279 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a Электрон. материаловедение 
300 # # $a Список лит.: с. 268-278 
345 # # $9 11000 экз. 
610 0 # $a Микроэлектроииые схемы - Материалы 
675 # # $a 621.382.04977.002.3 
700 # 1 $a Палатних  $b Л. С.  $g Лев Самойлович 
701 # 1 $a Сорокин  $b В. К.  $g Вадим Константинович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070424  $g psbo