Исследование и моделирование технологического процесса ионно-плазменного напыления тонких проводящих и резистивных пленок с заданными свойствами: (05.12.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Павлыш, В. А. |
| Publicado: | Л. , 1982 |
| Descripción Física: |
16 с. : граф.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||