Исследование и моделирование технологического процесса ионно-плазменного напыления тонких проводящих и резистивных пленок с заданными свойствами: (05.12.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Павлыш, В. А. |
| Veröffentlicht: | Л. , 1982 |
| Beschreibung: |
16 с. : граф.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||