Исследование и моделирование технологического процесса ионно-плазменного напыления тонких проводящих и резистивных пленок с заданными свойствами: (05.12.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Павлыш, В. А. |
| Апублікавана: | Л. , 1982 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
16 с. : граф.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||