|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17421910000 |
| 005 |
20070424172112.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070424d1990 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Структрные свойства полупроводниковых, диэлектрических и металлических пленок, используемых в микроэлектронике
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (01.04.07)
$f АН СССР, Физ.-техн. ин-т Урал. отд-ния
|
| 210 |
# |
# |
$a Ижевск
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 22-24 (18 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ошурина
$b Л. А.
$g Любовь Анатольевна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070424
$g psbo
|
