Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков

Сохранено в:
Шифр документа: АНД789969, АУД451493,
Вид документа: Книги
Автор: Осипов, К. А.
Опубликовано: М. : Наука , 1973
Физические характеристики: 87 с. : черт. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr17341910000
005 20070424170937.0
010 # # $d 29 к. 
021 # # $a RU  $b [73-16374] 
100 # # $a 20070424d1973 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков 
210 # # $a М.  $c Наука  $d 1973 
215 # # $a 87 с.  $c черт.  $d 20 см 
300 # # $a Шмуцтит.: АН СССР. Ин-т металлургии им. А. А. Байкова. Список лит.: с. 82-85 (116 назв.) 
345 # # $9 1750 экз. 
610 0 # $a Пленки тонкие - Получение 
675 # # $a 539.232 
700 # 1 $a Осипов  $b К. А.  $g Кирилл Афанасьевич 
701 # 1 $a Фолманис  $b Г. Э.  $g Гундар Эдуардович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070424  $g psbo