|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17293820000 |
| 005 |
20070424170547.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070424d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка пьезокварцевых датчиков и приборов для контроля расхода и состава газов и паро-газовых смесей в технологических процессах микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.12.18)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т-электрон. техники. Библиогр.: с. 22-24 (14 назв.). Для служеб. пользования
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.304:621.398.694.3:531.787.913
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Орлов
$b С. Г.
$g Сергей Георгиевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070424
$g psbo
|
