Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании: [Учеб. пособие]

Сохранено в:
Шифр документа: ДХМ177201,
Вид документа: Книги
Автор: Одиноков, В. В.
Опубликовано: М. : Высш. школа , 1981
Физические характеристики: 55 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Профтехобразование. Вакуум. техника
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr17141350000
005 20070423143506.0
010 # # $d 5 к. 
021 # # $a RU  $b [82-2210] 
100 # # $a 20070423d1981 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании  $e [Учеб. пособие] 
210 # # $a М.  $c Высш. школа  $d 1981 
215 # # $a 55 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a Профтехобразование. Вакуум. техника 
300 # # $a Библиогр.: с. 54 (9 назв.) 
345 # # $9 1500 экз. 
610 0 # $a Вакуумное оборудование 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Применение вакуума 
675 # # $a 621.382.049.772.1.002.5-982(075.32) 
700 # 1 $a Одиноков  $b В. В.  $g Вадим Васильевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070423  $g psbo