|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr17141350000 |
005 |
20070423143506.0 |
010 |
# |
# |
$d 5 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-2210]
|
100 |
# |
# |
$a 20070423d1981 y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании
$e [Учеб. пособие]
|
210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. школа
$d 1981
|
215 |
# |
# |
$a 55 с.
$c ил.
$d 20 см
|
225 |
2 |
# |
$a Профтехобразование. Вакуум. техника
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 54 (9 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 1500 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Вакуумное оборудование
|
610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Применение вакуума
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1.002.5-982(075.32)
|
700 |
# |
1 |
$a Одиноков
$b В. В.
$g Вадим Васильевич
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070423
$g psbo
|