Технология изготовления гибридно-пленочных интегральных микроузлов / Центр. правл. Науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении

Сохранено в:
Шифр документа: АНД777939,
Вид документа: Книги
Автор: Обичкин, Ю. Г.
Опубликовано: М. : Машиностроение , 1972
Физические характеристики: 80 с. : черт. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr17057810000
005 20070423140316.0
010 # # $d Беспл. 
021 # # $a RU  $b [72-89638] 
100 # # $a 20070423d1972 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Технология изготовления гибридно-пленочных интегральных микроузлов  $f Центр. правл. Науч.-техн. о-ва приборостроит. пром-сти. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении 
210 # # $a М.  $c Машиностроение  $d 1972 
215 # # $a 80 с.  $c черт.  $d 21 см 
300 # # $a Список лит.: с. 79 (8 назв.) 
345 # # $9 3200 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство 
675 # # $a 621.382-181.48-416.002 
700 # 1 $a Обичкин  $b Ю. Г.  $g Юрий Геннадиевич 
701 # 1 $a Калугин  $b А. М.  $g Анатолий Михайлович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070423  $g psbo