Диагностика ионно-имплантированных слоев в полупроводниках методами растровой электронной микроскопии: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ншанян, Т. А. |
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17049420000 | ||
| 005 | 20180707110226.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [81-4524а] |
| 100 | # | # | $a 20070423d1981 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Диагностика ионно-имплантированных слоев в полупроводниках методами растровой электронной микроскопии $e (01.04.04) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук |
| 210 | # | # | $a М. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: ВНИИ метрол. службы. Библиогр.: с. 23-24 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ншанян $b Т. А. $g Тигран Арцрунович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070423 $g psbo |