Коэффициенты разделения (распределения) кристаллизационных методов очистки / АН СССР. Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Нисельсон, Л. А. |
| Издание: | Препр. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1985 |
| Физические характеристики: |
59 с. : табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16905000000 | ||
| 005 | 20160330102108.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [86-4] |
| 100 | # | # | $a 20070420d1985 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Коэффициенты разделения (распределения) кристаллизационных методов очистки $f АН СССР. Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
| 205 | # | # | $a Препр. |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 59 с. $c табл. |
| 345 | # | # | $9 500 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Металлы химически чистые - Получение |
| 610 | 0 | # | $a Полупроводники - Очистка |
| 675 | # | # | $a 669.015.4 |
| 700 | # | 1 | $a Нисельсон $b Л. А. |
| 701 | # | 1 | $a Ярошевский $b А. Г. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070420 $g psbo |