Разработка и исследование технологии диффузионной сварки в вакууме монокристалла кремния с металлами для чувствительных элементов датчиков ускорения: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.03.06) / Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Нипаришвили, А. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16904110000 | ||
| 005 | 20070420144730.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070420d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование технологии диффузионной сварки в вакууме монокристалла кремния с металлами для чувствительных элементов датчиков ускорения $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.03.06) $f Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского |
| 210 | # | # | $a М. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 16-18 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.03.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Нипаришвили $b А. Г. $g Арчил Гурамович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070420 $g psbo |