ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.04) / АН УзССР, Ин-т электроники им. У. А. Арифова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ниматов, С. Ж. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1991 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16901940000 | ||
| 005 | 20070419175910.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070419d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.04) $f АН УзССР, Ин-т электроники им. У. А. Арифова |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-22 (24 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ниматов $b С. Ж. $g Самад Жайсанович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070419 $g psbo |