Моделирование процессов получения и контроля микроизображений в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск учен. степ. д-ра физ-мат. наук: (05.27.01) / НИИ физ. пробл. им. Ф. В. Лукина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Никитин, А. В. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
37 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||