Моделирование процессов получения и контроля микроизображений в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск учен. степ. д-ра физ-мат. наук: (05.27.01) / НИИ физ. пробл. им. Ф. В. Лукина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Никитин, А. В. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
37 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16776030000 | ||
| 005 | 20070418172255.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070418d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Моделирование процессов получения и контроля микроизображений в микроэлектронике $e Автореф. дис. на соиск учен. степ. д-ра физ-мат. наук $e (05.27.01) $f НИИ физ. пробл. им. Ф. В. Лукина |
| 210 | # | # | $a М. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 37 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 35-37 |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Никитин $b А. В. $g Аркадий Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070418 $g psbo |