|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr16747450000 |
| 005 |
20070418171914.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070418d1991 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка процессов формирования проводящих пленок из ПГС, включающей галогениды металлов и водород, при пониженном давлении в реакционном объеме
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.27.06)
$f Моск. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 30-32 (11 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Нечипоренко
$b А. П.
$g Александр Петрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070418
$g psbo
|
