|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr16477270000 |
| 005 |
20181001100431.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 18 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-12931]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070412d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оборудование для электронно-ионной и рентгеновской литографии
$e (Учеб. пособие)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 60 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13332068
$a РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные большие
|
| 675 |
# |
# |
$a 655.342.002.5:621.382.049.77
|
| 700 |
# |
1 |
$a Назаров
$b Г. В.
$g Геннадий Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Сатаров
$b Г. Х.
$g Герман Хабирович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070412
$g psbo
|
