Электрофизические свойства кремниевых МДП-структур, легированных ионами средних энергий: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ431353,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Назаров, А. Н.
Опубликовано: Киев , 1982
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr16473900000
005 20070412172610.0
021 # # $a RU  $b [82-16306а] 
100 # # $a 20070412d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Электрофизические свойства кремниевых МДП-структур, легированных ионами средних энергий  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 
210 # # $a Киев  $d 1982 
215 # # $a 17 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН УССР, Ин-т полупроводников. Библиогр.: с. 16-17 (11 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Назаров  $b А. Н.  $g Алексей Николаевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070412  $g psbo