Исследование имплантационных профилей и процесса диффузии внедренных ионов методом вторичного ионного микроанадиза: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ353984,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мюллер, Г.
Опубликовано: Киев , 1978
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr16405070000
005 20070412164509.0
100 # # $a 20070412d1978 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Исследование имплантационных профилей и процесса диффузии внедренных ионов методом вторичного ионного микроанадиза  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.18) 
210 # # $a Киев  $d 1978 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a В надзаг.: Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Окт. соц. революции. 3-д телевизион. электроники, Берлин. Библиогр.: с. 22-24 (12 назв.) 
686 # # $a 05.12.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Мюллер  $b Г.  $g Готтфрид 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070412  $g psbo