|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr16195020000 |
| 005 |
20070411130451.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 54 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [71-80261]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070411d1971 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства
$e [Учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. школа
$d 1971
|
| 215 |
# |
# |
$a 240 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 238
|
| 345 |
# |
# |
$9 18000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Оборудование - Учебники и пособия
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002.5(075.3)+[016.3]
|
| 700 |
# |
1 |
$a Моряков
$b О. С.
$g Олег Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070411
$g psbo
|
