Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: [Учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Моряков, О. С. |
| Опубликовано: | М. : Высш. школа , 1974 |
| Физические характеристики: |
141 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||