|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr16194900000 |
| 005 |
20101103091007.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 23 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [74-55485]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070411d1974 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве
$e [Учеб. пособие для проф.-техн. учеб. заведений]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. школа
$d 1974
|
| 215 |
# |
# |
$a 141 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 139
|
| 345 |
# |
# |
$9 7500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.003(075.3)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Моряков
$b О. С.
$g Олег Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070411
$g psbo
|
