Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Моряков, О. С. |
Издание: | 2-е изд., перераб. и доп. |
Опубликовано: | М. : Высш. школа , 1980 |
Физические характеристики: |
181 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Профтехобразование. Полупроводники
|
Предмет: |
00000cam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr16194890000 | ||
005 | 20101103090940.0 | ||
010 | # | # | $d 30 к. |
021 | # | # | $a RU $b [80-39388] |
100 | # | # | $a 20070411d1980 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве $e [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ] |
205 | # | # | $a 2-е изд., перераб. и доп. |
210 | # | # | $a М. $c Высш. школа $d 1980 |
215 | # | # | $a 181 с. $c ил. $d 21 см |
225 | 2 | # | $a Профтехобразование. Полупроводники |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 178 |
345 | # | # | $9 5500 экз. |
610 | 0 | # | $a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия |
675 | # | # | $a 621.382.002(075.32) |
700 | # | 1 | $a Моряков $b О. С. $g Олег Сергеевич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070411 $g psbo |