Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ]

Сохранено в:
Шифр документа: М109897,
Вид документа: Книги
Автор: Моряков, О. С.
Издание: 2-е изд., перераб. и доп.
Опубликовано: М. : Высш. школа , 1980
Физические характеристики: 181 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Профтехобразование. Полупроводники
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr16194890000
005 20101103090940.0
010 # # $d 30 к. 
021 # # $a RU  $b [80-39388] 
100 # # $a 20070411d1980 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве  $e [Учебник для сред. проф.-техн. уч-щ] 
205 # # $a 2-е изд., перераб. и доп. 
210 # # $a М.  $c Высш. школа  $d 1980 
215 # # $a 181 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 2 # $a Профтехобразование. Полупроводники 
300 # # $a Библиогр.: с. 178 
345 # # $9 5500 экз. 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия 
675 # # $a 621.382.002(075.32) 
700 # 1 $a Моряков  $b О. С.  $g Олег Сергеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070411  $g psbo