Разработка и аппаратурное оформление технологической схемы получения особо чистой воды для микроэлектроники на основе мембранных методов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.08) / Моск. хим.-технол. ин-т им. Д. И. Менделеева
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мороз, В. А. |
| Опубликовано: | М. , 1986 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16148930000 | ||
| 005 | 20070411125627.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070411d1986 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и аппаратурное оформление технологической схемы получения особо чистой воды для микроэлектроники на основе мембранных методов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.17.08) $f Моск. хим.-технол. ин-т им. Д. И. Менделеева |
| 210 | # | # | $a М. $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17-18 (12 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.17.08 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Мороз $b В. А. $g Василий Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070411 $g psbo |