
Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Перевод с англ. под ред. Р. Х. Тимерова; Предисл. К. А. Валиева. Ч. 2 / Перевод Д. Ю. Зарослова и др.
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | 1990 |
Физические характеристики: |
С. 614-1239, [5] : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 4 , доступно: 4 | Доступно Заказать | |||||||||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|