Физико-математическое моделирование полупроводниковой структуры и технологических операций для системы управления качеством силовых полупроводниковых приборов: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Монахов, А. Ф. |
| Опубликовано: | М. , 1979 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16113590000 | ||
| 005 | 20070411150248.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [79-17892а] |
| 100 | # | # | $a 20070411d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физико-математическое моделирование полупроводниковой структуры и технологических операций для системы управления качеством силовых полупроводниковых приборов $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук |
| 210 | # | # | $a М. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. энерг. ин-т |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Монахов $b А. Ф. $g Александр Федорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070411 $g psbo |