Исследование и разработка ионно-плазменной технологии формирования тонких диэлектрических плёнок для элементов интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 4320/86СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Молотков, В. А.
Опубликовано: М. , 1985
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr16090750000
005 20070411173158.0
100 # # $a 20070411d1985 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование и разработка ионно-плазменной технологии формирования тонких диэлектрических плёнок для элементов интегральных схем  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.27.01)  $f Моск. ин-т электрон. техники 
210 # # $a М.  $d 1985 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 21-23 (13 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Молотков  $b В. А.  $g Виктор Алексеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070411  $g psbo