Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: [Учеб. для сред. ПТУ]
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Мокеев, О. К. |
| Выданне: | 2-е изд., перераб. и доп. |
| Апублікавана: | М. : Высш. шк. , 1985 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
312 с. : ил. ; 20 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Проф.-техн. образование
|
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||