|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr16070840000 |
| 005 |
20140214124217.6 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 60 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-49089]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070410d1985 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
$e [Учеб. для сред. ПТУ]
|
| 205 |
# |
# |
$a 2-е изд., перераб. и доп.
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. шк.
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 312 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Проф.-техн. образование
|
| 345 |
# |
# |
$9 8000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Учебники и пособия
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.382.049.77.002](075.32)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Мокеев
$b О. К.
$g Олег Константинович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Романов
$b А. С.
$g Александр Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070410
$g psbo
|
