Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: [Учеб. для сред. ПТУ]

Сохранено в:
Шифр документа: 41232,
Вид документа: Книги
Автор: Мокеев, О. К.
Издание: 2-е изд., перераб. и доп.
Опубликовано: М. : Высш. шк. , 1985
Физические характеристики: 312 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Проф.-техн. образование
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr16070840000
005 20140214124217.6
010 # # $b В пер.  $d 60 к. 
021 # # $a RU  $b [85-49089] 
100 # # $a 20070410d1985 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем  $e [Учеб. для сред. ПТУ] 
205 # # $a 2-е изд., перераб. и доп. 
210 # # $a М.  $c Высш. шк.  $d 1985 
215 # # $a 312 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a Проф.-техн. образование 
345 # # $9 8000 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Учебники и пособия 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия 
675 # # $a 621.382.002+621.382.049.77.002](075.32) 
700 # 1 $a Мокеев  $b О. К.  $g Олег Константинович 
701 # 1 $a Романов  $b А. С.  $g Александр Сергеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070410  $g psbo