Исследование и разработка технологического процесса создания высокоомных резистивных элементов гибридных интегральных микросхем на поверхности анодных оксидов алюминия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Мин. радиотехн. ин-т
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Можухов, А. А. |
| Wydane: | Мн. , 1983 |
| Opis fizyczny: |
24 с.
|
| Język: | Русский |