Исследование и разработка технологического процесса создания высокоомных резистивных элементов гибридных интегральных микросхем на поверхности анодных оксидов алюминия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Мин. радиотехн. ин-т
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Можухов, А. А. |
| Published: | Мн. , 1983 |
| Physical Description: |
24 с.
|
| Language: | Russian |