Исследование и разработка технологического процесса создания высокоомных резистивных элементов гибридных интегральных микросхем на поверхности анодных оксидов алюминия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Мин. радиотехн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: 191234/97,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Можухов, А. А.
Опубликовано: Мн. , 1983
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr16049150000
005 20220119133240.0
100 # # $a 20070410d1983 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
200 1 # $a Исследование и разработка технологического процесса создания высокоомных резистивных элементов гибридных интегральных микросхем на поверхности анодных оксидов алюминия  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.18)  $f Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1983 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 23-24 (14 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.12.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Можухов  $b А. А.  $g Алексей Анатольевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070410  $g psbo