Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отдние, Ин-т автоматики и электрометрии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Младенов, А. Й. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1988 |
| Физические характеристики: |
21 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||