Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отдние, Ин-т автоматики и электрометрии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Младенов, А. Й. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1988 |
| Физические характеристики: |
21 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16021500000 | ||
| 005 | 20070410130701.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [88-19639а] |
| 100 | # | # | $a 20070410d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде $e (01.04.04) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН СССР, Сиб. отдние, Ин-т автоматики и электрометрии |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 21 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21 (6 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Младенов $b А. Й. $g Алексей Йорданов |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070410 $g psbo |