|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr15893790000 |
| 005 |
20171124110259.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 1 р. 70 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-88034]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070410d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей
|
| 210 |
# |
# |
$a Воронеж
$c Изд-во Воронеж. ун-та
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 195, [3] с.
$c граф.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 188-196 (170 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 750 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний - Окисление термическое - Влияние примесей
|
| 675 |
# |
# |
$a 546.28:542.943
|
| 700 |
# |
1 |
$a Миттова
$b И. Я.
$g Ирина Яковлевна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070410
$g psbo
|
