Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Миронов, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15834340000 | ||
| 005 | 20211126123247.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070406d1982 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2 $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.17.16) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 23-24 (8 назв.). Для служеб. пользования |
| 675 | # | # | $a 621.794.44:533.924 |
| 686 | # | # | $a 05.17.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Миронов $b А. С. $g Александр Станиславович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070406 $g psbo |