Исследование процесса локального ионного травления и разработка технологии изготовления фотошаблонов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.11)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Минаков, В. И. |
| Апублікавана: | М. , 1977 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
25 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||