|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr15605330000 |
| 005 |
20201012135429.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 75 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-55678]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070404d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Основы технологии тонких и толстых пленок
$e 23.03 : Учеб. пособие
$f Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c ЛЭИС
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 84, [2] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 85 (12 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 520 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Мельниченко
$b А. Т.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070404
$g psbo
|
