|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr15505800000 |
| 005 |
20070402131924.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 5 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-207]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070402d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Управление технологическими процессами при производстве ИС
$f Ю. П. Медведев, Ю. С. Синекоп, А. П. Коц
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c о-во «Знание» УССР
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Б-чка «Пробл. интегр. электрон.»
$f О-во «Знание» УССР
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 19 (5 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 800 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Медведев
$b Ю. П.
$g Юрий Павлович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Синекоп
$b Ю. С.
$g Юрий Степанович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Коц
$b А. П.
$g Александр Павлович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070402
$g psbo
|
