Точные и автомодельные решения кинетического уравнения для каскадного процесса / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Маслов, Д. Л. |
| Издание: | Препр. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15346690000 | ||
| 005 | 20201124145717.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [89-40725] |
| 100 | # | # | $a 20070403d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Точные и автомодельные решения кинетического уравнения для каскадного процесса $f АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
| 205 | # | # | $a Препр. |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19 (12 назв.) |
| 345 | # | # | $9 75 экз. |
| 675 | # | # | $a 539.12:517.9 |
| 700 | # | 1 | $a Маслов $b Д. Л. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070403 $g psbo |