Низковольтные режимы обработки тонких пленок резиста электронным лучом в вакууме: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Марголин, В. И. |
| Опубликовано: | Л. , 1984 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15181690000 | ||
| 005 | 20070402123654.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070402d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Низковольтные режимы обработки тонких пленок резиста электронным лучом в вакууме $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.10) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Библиогр.: с. 14-16 (26 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Марголин $b В. И. $g Владимир Игоревич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070402 $g psbo |