Электронно-микроскопические исследования дефектов структуры в полупроводниковых материалах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.04.10) / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 8376/86СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Максимов, С. К.
Опубликовано: М. , 1984
Физические характеристики: 32 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr14960140000
005 20070328180754.0
100 # # $a 20070328d1984 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Электронно-микроскопические исследования дефектов структуры в полупроводниковых материалах  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e (01.04.10)  $f Моск. ин-т электрон. техники 
210 # # $a М.  $d 1984 
215 # # $a 32 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 28-32 (47 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Максимов  $b С. К.  $g Сергей Кириллович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070328  $g psbo