Газохроматографический контроль арсина и фосфина для эпитаксиальных процессов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (02.00.02) / Гос. н.-и. и проект. ин-т редкометал. пром-сти
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Майоров, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14857640000 | ||
| 005 | 20070326122257.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070326d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Газохроматографический контроль арсина и фосфина для эпитаксиальных процессов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (02.00.02) $f Гос. н.-и. и проект. ин-т редкометал. пром-сти |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 18 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 02.00.02 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Майоров $b В. И. $g Валентин Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070326 $g psbo |