Планарная технология кремниевых приборов

Сохранено в:
Шифр документа: АУ473054, АН833513,
Вид документа: Книги
Автор: Мазель, Е. З.
Опубликовано: М. : Энергия , 1974
Физические характеристики: 384 с. : черт. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr14825840000
005 20220110145803.0
010 # # $b В пер.  $d 1 р. 27 к. 
021 # # $a RU  $b [74-15843] 
100 # # $a 20070326d1974 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Планарная технология кремниевых приборов 
210 # # $a М.  $c Энергия  $d 1974 
215 # # $a 384 с.  $c черт.  $d 20 см 
300 # # $a Список лит.: с. 368-382 
345 # # $9 4000 экз. 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство 
675 # # $a 621.382.002 
700 # 1 $a Мазель  $b Е. З.  $g Евгений Зиновьевич 
701 # 1 $a Пресс  $b Ф. П.  $g Феликс Павлович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070326  $g psbo