|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr14764290000 |
| 005 |
20241007134409.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070327d1992 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности напыления тонких диэлектрических пленок SiO2, TiO2, AlO3, ZrO2 в вакууме с помощью непрерывного излучения CO2-лазера
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (01.04.08)
$f Рос. АН, Ин-т металлургии им. А. А. Байкова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 18-19 (11 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.08
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ляпахин
$b А. Б.
$g Алексей Борисович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070327
$g psbo
|
