Разработка методов и устройств автоматизированного оптического контроля качества полупроводниковых планарных структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.13) / Винниц. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лонский, И. И. |
| Опубликовано: | Винница , 1983 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||