Разработка методов и устройств автоматизированного оптического контроля качества полупроводниковых планарных структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.13) / Винниц. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лонский, И. И. |
| Опубликовано: | Винница , 1983 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14533930000 | ||
| 005 | 20070323131603.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070323d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Разработка методов и устройств автоматизированного оптического контроля качества полупроводниковых планарных структур $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.11.13) $f Винниц. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Винница $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21-24 (21 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.11.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Лонский $b И. И. $g Иван Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070323 $g psbo |