Разработка и исследование методов автоматизированного оптического контроля качества полупроводниковых планарных структур: Автореф. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лонский, И. И. |
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14533920000 | ||
| 005 | 20070323131603.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070323d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование методов автоматизированного оптического контроля качества полупроводниковых планарных структур $e Автореф. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения. Библиогр.: с. 20-22 (15 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Лонский $b И. И. $g Иван Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070323 $g psbo |