Диффузионные процессы в производстве силовых полупроводниковых приборов

Сохранено в:
Шифр документа: МД116135,
Вид документа: Книги
Автор: Локтаев, Ю. М.
Опубликовано: М. : ин-т «Информэлектро» , 1980
Физические характеристики: 47 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Серия: Преобразоват. техника. Обзор. информ. ТС-5
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr14508390000
005 20070322200358.0
010 # # $d 45 к. 
021 # # $a RU  $b [80-53508] 
100 # # $a 20070322d1980 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Диффузионные процессы в производстве силовых полупроводниковых приборов 
210 # # $a М.  $c ин-т «Информэлектро»  $d 1980 
215 # # $a 47 с.  $c ил.  $d 22 см 
225 2 # $a Преобразоват. техника. Обзор. информ.  $f ВНИИ информ. и техн.-экон. исслед. в электротехнике  $v ТС-5 
300 # # $a Авт. указаны на 2-й с. обл. Библиогр.: с. 44-46 (46 назв.) 
345 # # $9 2200 экз. 
610 0 # $a Кремний - Примеси - Диффузия - Обзоры литературы информационные 
610 0 # $a Диоды полупроводниковые - Производство - Обзоры литературы информационные 
610 0 # $a Триоды полупроводниковые - Производство - Обзоры литературы информационные 
675 # # $a 621.382.002(048.8) 
700 # 1 $a Локтаев  $b Ю. М. 
701 # 1 $a Нисневич  $b Я. Д. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070322  $g psbo