Свойства слоев аморфного кремния, сильно легированного азотом и углеродом методом ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Лобанова, Н. Е. |
| Апублікавана: | Горький , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
24 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||